Introductory Chapter: Basic Theory of Magnetron Sputtering

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标题	书籍（章节） Introductory Chapter: Basic Theory of Magnetron Sputtering 相关领域高功率脉冲磁控溅射材料科学溅射沉积腔磁控管工程物理计算机科学溅射物理纳米技术薄膜
网址	https://doi.org/10.5772/intechopen.80550 AI链接 intechopen.comdoi.org
DOI	10.5772/intechopen.80550 doi
其它	期刊：IntechOpen eBooks 作者：Feng Shi 出版日期：2018-11-05
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