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 Ultrasonic Modulation–Demodulation-Based Piezoelectric MEMS Speakers—A New Paradigm for Microspeakers 相关领域
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Danyang Zheng; Mingchao Sun; Menglun Zhang; Shaobo Gong; Chen Sun; et al 出版日期：2025-12-04 |
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