Phase shift effects of radio-frequency bias on ion energy distribution in continuous wave and pulse modulated inductively coupled plasmas

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标题	Phase shift effects of radio-frequency bias on ion energy distribution in continuous wave and pulse modulated inductively coupled plasmas
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1674-1056/27/4/04...
DOI	10.1088/1674-1056/27/4/045202 doi
其它	期刊：Chinese Physics B 作者：Chan Xue; Fei Gao; Yong-Xin Liu; Jia Liu; You-Nian Wang 出版日期：2018-04-20
求助人	刘佳琦19947 在 2026-11-04 16:12:08 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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