Phase composition and microstructure of polycrystalline and epitaxial TaNx layers grown on oxidized Si(001) and MgO(001) by reactive magnetron sputter deposition

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标题	Phase composition and microstructure of polycrystalline and epitaxial TaNx layers grown on oxidized Si(001) and MgO(001) by reactive magnetron sputter deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1016/s0040-6090(01)01618-2
DOI	10.1016/s0040-6090(01)01618-2 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：C.-S. Shin; Y.-W. Kim; D. Gall; J.E. Greene; I. Petrov 出版日期：2002-01-01
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