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Particle transport in sputter deposition process using argon or krypton gas: effect of thermalization on deposition rate and thickness uniformity 相关领域
氪
溅射
氩
热化
沉积(地质)
溅射沉积
材料科学
分析化学(期刊)
蒙特卡罗方法
原子物理学
粒子(生态学)
腔磁控管
化学
粒径
氩气
分子物理学
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(2025-6-4)