Study on energy consumption optimization of polysilicon reduction furnace

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标题	Study on energy consumption optimization of polysilicon reduction furnace 多晶硅还原炉能耗优化研究相关领域硅材料科学还原（数学）能源消耗多晶硅沉积（地质）工程物理光电子学核工程电气工程复合材料工程类几何学数学古生物学图层（电子）沉积物生物薄膜晶体管
网址	https://doi.org/10.1117/12.3030756
DOI	10.1117/12.3030756 doi
其它	期刊：作者：Rui Hu; jin wang 出版日期：2024-06-05
求助人	weqewqweqw 在 2025-02-21 16:12:54 发布自新疆，悬赏 20 积分
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