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 Effect of abrasive on tribological behavior and polishing effect of β-Ga2O3(100) substrate 磨料对β-Ga2O3（100）基体摩擦学行为及抛光效果的影响
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Tao Wang; Qiusheng Yan; Qiang Xiong; Junqiang Lin; Jiabin Lu; et al 出版日期：2023-12-30 |
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