Effect of abrasive on tribological behavior and polishing effect of β-Ga2O3(100) substrate

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作者
Tao Wang,Qiusheng Yan,Qiang Xiong,Junqiang Lin,Jiabin Lu,Jisheng Pan
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:172: 108059-108059 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2023.108059
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