effect of organic contamination on poly-si film quality in LPCVD processes

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标题	[高分] effect of organic contamination on poly-si film quality in LPCVD processes 有机污染对LPCVD工艺中多晶硅薄膜质量的影响
网址	http://dx.doi.org/10.1149/1.1513456
DOI	10.1149/1.1513456 doi
求助人	火星上丸子在 2025-09-01 15:05:54 发布自北京，悬赏 50 积分
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