| 标题 |  Study of dislocations in 4H-SiC substrate by fused alkali etching of 4H-SiC homogeneous epitaxy 熔融碱刻蚀4H-SiC均匀外延4H-SiC衬底中位错的研究 相关领域 
                                                                                                                                    
                                                                        
                                                                            同种类的                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            外延                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            碱金属                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            蚀刻(微加工)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            材料科学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            基质(水族馆)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            光电子学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            复合材料                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            化学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            地质学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            物理                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            热力学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            图层(电子)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            海洋学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            有机化学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                 | 
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| 其它 | 期刊:Vacuum 作者:Jiaxin Zhang; Xiufang Chen; Xianglong Yang; Yan Peng; Xuejian Xie; et al 出版日期:2025-05-01 | 
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