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标题
Post-annealing treatment in improving high dielectric constant MgO-based metal-oxide-semiconductor diodes
后退火处理在提高高介电常数MgO基金属氧化物半导体二极管中的应用
相关领域
材料科学 退火(玻璃) 电介质 二极管 氧化物 高-κ电介质 光电子学 栅极电介质 等效氧化层厚度 X射线光电子能谱 分析化学(期刊) 栅氧化层 溅射沉积 电容 半导体 溅射 薄膜 电压 化学 纳米技术 电气工程 电极 冶金 核磁共振 物理 晶体管 色谱法 物理化学 工程类
网址
DOI
10.1063/5.0094513 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Jun-Dar Hwang; Chin-Yang Chang
出版日期:2022-06-20
求助人
科目三 在 2025-08-18 21:44:17 发布自青海,悬赏 10 积分
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