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  Pellicle films supporting the ramp to HVM with EUV 通过UVA支持向HVMs倾斜的膜
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期刊： 作者：Pieter Jan van Zwol; Maxim Nasalevich; E. V. Kurganova; W. Pim Voorthuijzen; David Vles; et al 出版日期：2017-10-16 |
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