Preparation of flat surfaces on silicon carbide substrate using electron beam processing

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标题	Preparation of flat surfaces on silicon carbide substrate using electron beam processing 相关领域材料科学硅蚀刻（微加工）抛光表面粗糙度基质（水族馆）表面光洁度扫描电子显微镜阴极射线碳化硅电子分析化学（期刊）光学光电子学纳米技术复合材料化学图层（电子）物理地质学海洋学量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1088/1742-6596/1124/2/022026
DOI	10.1088/1742-6596/1124/2/022026 doi
其它	期刊：Journal of Physics Conference Series 作者：E Yu Gusev; S. P. Avdeev 出版日期：2018-12-01
求助人	谢戴竹在 2025-09-27 20:37:36 发布自湖南，悬赏 10 积分
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