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DMD maskless digital lithography based on stepwise rotary stitching 基于逐步旋转拼接的DMD无掩模数字光刻
相关领域
图像拼接
平版印刷术
无光罩微影
光学
制作
材料科学
数字光处理
旋转(数学)
衍射
光刻
计算机科学
物理
电子束光刻
抵抗
纳米技术
人工智能
病理
医学
替代医学
投影机
图层(电子)
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| 其它 |
期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Qixiang Yuan; Chunxia Liu; Long Huang; Shaoqing Zhao; Zhengxiao Wang; et al 出版日期:2023-02-08 |
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