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 Halide vapor phase epitaxy of Si doped β-Ga2O3 and its electrical properties 卤化物气相外延硅掺杂β-Ga2O3及其电学性能
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期刊：Thin Solid Films 作者：Ken Goto; Keita Konishi; Hisashi Murakami; Yoshinao Kumagai; Bo Monemar; et al 出版日期：2018-09-05 |
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