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Halide vapor phase epitaxy of Si doped β-Ga2O3 and its electrical properties

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作者
Ken Goto,Keita Konishi,Hisashi Murakami,Yoshinao Kumagai,Bo Monemar,Masataka Higashiwaki,Akito Kuramata,Shigenobu Yamakoshi
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2018-09-05 卷期号：666: 182-184 被引量：202
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2018.09.006
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