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 A novel 2-step ALD route to ultra-thin MoS2 films on SiO2 through a surface organometallic intermediate 相关领域
退火（玻璃）
原子层沉积
成核
材料科学
无定形固体
单层
纳米技术
薄膜
过渡金属
化学工程
光电子学
结晶学
化学
催化作用
冶金
有机化学
工程类
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