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 Linear Equivalent Step-Control Strategy for the Traveling-Wave Micromotor Rotating Platform Based on a MEMS Three-Ring Capacitive Angular Position Sensor 相关领域
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Jinxuan Xie; Tong Zhou; Wentao Li; Yu Chen; Zhuolin Yu; et al 出版日期：2025-08-28 |
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