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Linear Equivalent Step-Control Strategy for the Traveling-Wave Micromotor Rotating Platform Based on a MEMS Three-Ring Capacitive Angular Position Sensor

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作者

Jinxuan Xie,Tong Zhou,Wentao Li,Yu Chen,Zhuolin Yu,Yan Su

出处

期刊：IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-08-28 卷期号：25 (19): 35887-35895

标识

DOI：10.1109/jsen.2025.3601146

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