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 High-Q film bulk acoustic resonator with high quality AlN film based on transfer method 相关领域
材料科学
谐振器
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期刊：Physica Scripta 作者：Yaxin Wang; Chao Gao; Chaoxiang Yang; Ting‐Ting Yang; Yan Liu; et al 出版日期：2024-07-24 |
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