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标题
Zn 2 SnO 4 Thin Film for Ozone Gas Sensor Developed on MEMS Device and Synthesized by HiPIMS Co-sputtering
相关领域
微电子机械系统 材料科学 高功率脉冲磁控溅射 溅射 选择性 臭氧 溅射沉积 退火（玻璃） 分析化学（期刊） 薄膜 光电子学 纳米技术 冶金 化学 催化作用 环境化学 生物化学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac7ad3
DOI
10.1149/2162-8777/ac7ad3 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Cheng-Hsueh Chou; Yu‐Jen Hsiao; Sheng‐Chang Wang
出版日期：2022-06-01
求助人
隐形 在 2026-01-09 20:53:42 发布自安徽，悬赏 10 积分
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