发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
SEM overlay target design optimization by e-beam simulation
相关领域
覆盖 计算机科学 GSM演进的增强数据速率 计量学 能见度 临界尺寸 平版印刷术 度量（数据仓库） 电子工程 光学 工程类 人工智能 物理 数据库 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1117/12.3010511
DOI
10.1117/12.3010511 doi
其它 期刊：
作者：Il-Hwan Kim; Cheolgyu Hyun; Sangho Jo; Muyoung Lee; Ikjun Jang; et al
出版日期：2024-04-10
求助人
123 在 2025-11-26 19:29:06 发布自中国，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Holistic metrology approach: hybrid metrology utilizing scatterometry, critical dimension-atomic for...
  2. Can we get 3D-CD metrology right?
  3. Overlay accuracy fundamentals
  4. Blossom overlay metrology implementation
  5. Smart implant-layer overlay metrology to enable fab cycle time reduction
  6. Overlay metrology for low-k<sub>1</sub>: challenges and solutions
  7. Overlay metrology for low-k 1 : Challenges and solutions
  8. Usage of overlay metrology simulator in design of overlay metrology tools for the 65-nm node and bey...
  9. Scatterometry based overlay metrology
  10. An investigation of SEM overlay metrology
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

    当前有 1 位研友正在围观本求助： 123 123

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    19:29:10 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    19:29:08 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    19:29:06 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    123 123 Lv62 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
nenoaowu发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
爱学习的小谭完成签到，获得积分10
3秒前
3秒前
科研小陈发布了新的文献求助10
4秒前
四不像会麋鹿完成签到，获得积分10
4秒前
4秒前
天天开心发布了新的文献求助10
5秒前
吴文章完成签到 ，获得积分10
5秒前
6秒前
lanyiyi发布了新的文献求助10
6秒前
叶成会发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
杨润发布了新的文献求助10
8秒前
浮游的应助被乐观的海采纳，获得10
8秒前
8秒前
8秒前
Mimistree发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
9秒前
9秒前
lllcch完成签到，获得积分10
9秒前
9秒前
酱酱accept发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
zyue发布了新的文献求助10
11秒前
大何发布了新的文献求助10
11秒前
G13发布了新的文献求助10
12秒前
科研狗发布了新的文献求助10
12秒前
酷波er的应助被nenoaowu采纳，获得10
13秒前
Lucas的应助被蕾蕾蕾采纳，获得20
13秒前
Winy发布了新的文献求助10
14秒前
喜欢秋天xx_y完成签到 ，获得积分10
14秒前
zyw发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
14秒前
KKgod发布了新的文献求助10
15秒前
Mint发布了新的文献求助10
15秒前
天天开心完成签到，获得积分10
15秒前
高分求助中
Encyclopedia of Quaternary Science Third edition 2025 12000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
HIGH DYNAMIC RANGE CMOS IMAGE SENSORS FOR LOW LIGHT APPLICATIONS 1500
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.). Frederic G. Reamer 800
Beyond the sentence : discourse and sentential form / edited by Jessica R. Wirth 600
Holistic Discourse Analysis 600
Vertébrés continentaux du Crétacé supérieur de Provence (Sud-Est de la France) 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5343888
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4479371
关于积分的说明 13942689
捐赠科研通 4376426
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2404779
邀请新用户注册赠送积分活动 1397135
关于科研通互助平台的介绍 1369486
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通