Ionic liquid-mediated morphology and structure of CeO2 nanoparticles for silicon wafers ultra-precision chemical mechanical polishing applications

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标题	Ionic liquid-mediated morphology and structure of CeO2 nanoparticles for silicon wafers ultra-precision chemical mechanical polishing applications
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2025.12.101
DOI	10.1016/j.jmrt.2025.12.101 doi
其它	期刊：Journal of materials research and technology 作者：Siyuan Zhao; Zhenyu Zhang; Na Fan; Qian Hu; Feng Zhao; et al 出版日期：2025-12-11
求助人	鹿lu 在 2026-07-18 18:21:10 发布自湖南，悬赏 10 积分
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