Atomic layer deposition of molybdenum oxide using (N Bu)2(NMe2)2Mo, hydrogen peroxide (H2O2), and ozone (O3) for DRAM application

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标题	Atomic layer deposition of molybdenum oxide using (N Bu)2(NMe2)2Mo, hydrogen peroxide (H2O2), and ozone (O3) for DRAM application
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.10.047
DOI	10.1016/j.ceramint.2022.10.047 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Seung-Hwan Lee; Hae Lin Yang; Beom Seok Kim; Jin‐Ho Lee; Hanjin Lim; et al 出版日期：2022-10-13
求助人	找不到在 2026-07-16 10:45:06 发布自福建，悬赏 10 积分
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