质子注入对GaAs基器件隔离研究

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标题	质子注入对GaAs基器件隔离研究
网址	http://dx.doi.org/10.3788/irla20220141
DOI	10.3788/irla20220141 doi
其它	期刊：Infrared and Laser Engineering 作者：宗梦雅 Zong Mengya; 代京京 Dai Jingjing; 李尉 Li Wei; 温丛阳 Wen Congyang; 张彤 Zhang Tong; et al 出版日期：2022-01-01
求助人	刻苦碧彤在 2026-09-16 18:33:44 发布自浙江，悬赏 10 积分
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