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标题
专利、报告等 Effect of La Spatial Uniformity on Ferroelectric Properties of Hfo2 Films Deposited by Atomic Layer Deposition Method
网址
https://doi.org/10.2139/ssrn.4542526
DOI
10.2139/ssrn.4542526 doi
其它 期刊：
作者：Juyoung Jeong; Hyunchul Sohn; Yoogeun Han; Jaeyoung Joo
出版日期：2023-08-16
求助人
Jie 在 2026-08-21 16:34:23 发布自上海，悬赏 10 积分
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