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国产α—Al2O3的流延工艺研讨
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【作 者】 刘振华 【刊 名】 电子元件 【出版日期】1995 【期 号】第2期 【影响因子】0.0215(1996) //<![CDATA[ send_requestyxyzajax("/ajax?go=yxyz&magid=320910028814","yxyz","1"); //]]> 【关键词】半导体材料;氧化铝;流延工艺 【参考文献格式】刘振华.国产α—Al2O3的流延工艺研讨[J].电子元件,1995,(第2期). |
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(2025-6-4)