Plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) of cobalt thin films for copper direct electroplating

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标题	Plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) of cobalt thin films for copper direct electroplating
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789721...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2014.05.005 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Jae-Hyung Park; Dae-Yong Moon; Dong-Suk Han; Yu-Jin Kang; So-Ra Shin; et al 出版日期：2014-05-15
求助人	pbb 在 2026-08-30 13:37:03 发布自福建，悬赏 10 积分
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