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标题
[高分] Advances in metastable helium (He) atom lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3093521
DOI
10.1117/12.3093521 doi
其它 期刊：Novel Patterning Technologies 2026
作者：Bodil Holst; Adrià Salvador Palau; Daniel Fojo Álvarez; Francesco Andreoli; Eduard Bartrons; et al
出版日期：2026-04-08
求助人
研友_ZGj1an 在 2026-08-06 13:23:54 发布自北京，悬赏 50 积分
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