A dual-mass fully decoupled MEMS gyroscope with optimized structural design for minimizing mechanical quadrature coupling

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标题	A dual-mass fully decoupled MEMS gyroscope with optimized structural design for minimizing mechanical quadrature coupling
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2022.111918
DOI	10.1016/j.mee.2022.111918 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Zhongye Wu; Ronghui Feng; Chengliang Sun; Peng Wang; Guoqiang Wu 出版日期：2023-01-01
求助人	ZZJ 在 2026-08-11 13:23:23 发布自上海，悬赏 10 积分
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