Low-temperature plasma-assisted oxidation of Si: a new approach for creation of device-quality SiSiO2 interfaces with deposited dielectrics for applications in Si MOSFET technologies

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标题	Low-temperature plasma-assisted oxidation of Si: a new approach for creation of device-quality SiSiO2 interfaces with deposited dielectrics for applications in Si MOSFET technologies
网址	http://dx.doi.org/10.1016/0022-3093(94)90716-1
DOI	10.1016/0022-3093(94)90716-1 doi
其它	期刊：Journal of Non-Crystalline Solids 作者：G. Lucovsky; T. Yasuda; Y. Ma; S. Hattangady; V. Misra; et al 出版日期：1994-11-01
求助人	白忆南在 2026-06-27 21:58:21 发布自广东，悬赏 10 积分
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