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 Stripping of carbon coatings in radio-frequency inductively coupled plasma of H2/Ar H2/Ar射频电感耦合等离子体中碳涂层的剥离
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Dmitrii V. Sidelev; Sergey Ruchkin; Y N Yurjev; Антон Ломыгин; M. S. Syrtanov; et al 出版日期：2021-10-25 |
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