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Stripping of carbon coatings in radio-frequency inductively coupled plasma of H2/Ar

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作者
Dmitrii V. Sidelev,Sergey Ruchkin,Y N Yurjev,Антон Ломыгин,M. S. Syrtanov,Galina N. Stolbovskaya,Sergey Ukhanov
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2021-10-25 卷期号：427: 127837-127837
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2021.127837
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