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  Optimization of the plasmonic properties of titanium nitride films sputtered at room temperature through microstructure and thickness control 通过微观结构和厚度控制优化室温溅射氮化钛薄膜的等离子体特性
相关领域
材料科学
等离子体子
氮化钛
功勋
基质（水族馆）
锡
微观结构
溅射沉积
光电子学
溅射
氮化物
沉积（地质）
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薄膜
纳米技术
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期刊：Scientific Reports 作者：Mateusz Nieborek; Cezariusz Jastrzębski; Tomasz Płociński; Piotr Wróbel; Aleksandra Seweryn; et al 出版日期：2024-03-08 |
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