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 Titanium monoxide and titanium dioxide thin film formation by magnetron sputtering and its thermodynamic model 磁控溅射一氧化钛和二氧化钛薄膜的形成及其热力学模型
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Sergey V. Bulyarskiy; Daria A. Koiva; V. S. Belov; Е.В. Зенова; G. A. Rudakov; et al 出版日期：2021-07-21 |
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