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 Modeling and analysis of MEMS capacitive pressure sensors with vertical comb fingers 垂直梳指MEMS电容式压力传感器的建模与分析
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期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems 作者：Zhenyu Liu; Yusi Zhu; Lidong Du; Zhan Zhao; Zhen Fang 出版日期：2023-05-03 |
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