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  Fabry-Perot Interferometer Based on an Aluminum-Polyimide Composite Diaphragm Integrated With Mass for Acceleration Sensing 基于集成质量块的铝-聚酰亚胺复合膜片的加速度传感法布里-珀罗干涉仪
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期刊：IEEE Access 作者：Shili Li; Xuqiang Wu; Jinhui Shi; Qiang Ge; Gang Zhang; et al 出版日期：2019-01-01 |
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