| 标题 |
专利、报告等 Compact enhanced sensitivity temperature sensor using an encapsulated clamped-clamped MEMS beam resonator
使用封装的夹持-夹持式微机电梁共振器的紧凑型增强灵敏度温度传感器
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| DOI |
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| 其它 | 美国专利US12365580B2 |
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(2025-6-4)
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