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Impact of hydrochloric acid on the epitaxial growth of In2O3 films on (0001)α-Al2O3 substrates by mist CVD
网址
http://dx.doi.org/10.35848/1882-0786/ab9a90
DOI
10.35848/1882-0786/ab9a90 doi
其它 期刊：Applied Physics Express
作者：Tomohiro Yamaguchi; Subaru Takahashi; Takanori Kiguchi; Atsushi Sekiguchi; Kentaro Kaneko; et al
出版日期：2020-06-22
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