Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) treatment of dry-etched trenches on (010) β-Ga2O3 to enhance trench profiles

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标题	Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) treatment of dry-etched trenches on (010) β-Ga2O3 to enhance trench profiles
网址	https://pubs.aip.org/aip/adv/article-pdf/doi/10.1063/5.03056...
DOI	10.1063/5.0305647 doi
其它	期刊：AIP Advances 作者：Takayoshi Oshima 出版日期：2026-02-23
求助人	Chen_Sam 在 2026-05-27 16:12:47 发布自广东，悬赏 10 积分
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