PVT法生长碳化硅晶体中的石墨坩埚腐蚀机制研究

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标题	PVT法生长碳化硅晶体中的石墨坩埚腐蚀机制研究
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	作者王军；关键词：物理气相传输法/等静压石墨/坩埚/硅蒸气/腐蚀机制；摘要：针对碳化硅(SiC)晶体生长过程中石墨坩埚腐蚀呈现的复杂机制问题,本研究系统分析了物理气相传输(PVT)法生长条件下SiC粉料热分解行为，硅蒸气与石墨坩埚的界面反应动力学特征,以及更多、不同孔隙结构的等静压石墨。。
求助人	活泼的觅荷在 2026-03-11 10:30:59 发布自四川，悬赏 10 积分
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