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Electrochemical behavior and polishing properties of silicon wafer in alkaline slurry with abrasive CeO2 |
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期刊:Transactions of Nonferrous Metals Society of China 作者:Xiao-lan SONG; Da-yu XU; Xiao-wei ZHANG; Xun-da SHI; Nan JIANG; Guan-zhou QIU 出版日期:2008 |
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