Microscopic and data-driven modeling and operation of thermal atomic layer etching of aluminum oxide thin films

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标题	Microscopic and data-driven modeling and operation of thermal atomic layer etching of aluminum oxide thin films
网址	https://doi.org/10.1016/j.cherd.2021.10.016
DOI	10.1016/j.cherd.2021.10.016 doi
其它	期刊：Chemical Engineering Research and Design 作者：Sungil Yun; Matthew Tom; Junwei Luo; Gerassimos Orkoulas; Panagiotis D. Christofides 出版日期：2022
求助人	Singularity 在 2026-03-17 17:14:33 发布自福建，悬赏 10 积分
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