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标题
Outgassing rate comparison of seven geometrically similar vacuum chambers of different materials and heat treatments
不同材料和热处理的七个几何相似真空室的除气率比较
相关领域
放气 材料科学 钛 氢 铝 冶金 超高真空 真空室 分析化学（期刊） 复合材料 化学 纳米技术 色谱法 有机化学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0000657
AI链接 arxiv.org arxiv.org datacite.orgdoi.org
DOI
10.1116/6.0000657 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：James A. Fedchak; Julia Scherschligt; Sefer Avdiaj; Daniel S. Barker; Stephen Eckel; et al
出版日期：2021-02-23
求助人
lau 在 2025-07-07 22:40:22 发布，悬赏 10 积分
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