Characteristics of GZO Films Prepared by Using a rf MagnetronPlasma at Low Temperature

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标题	Characteristics of GZO Films Prepared by Using a rf MagnetronPlasma at Low Temperature 低温射频磁控等离子体制备GZO薄膜的特性相关领域材料科学光电子学工程物理物理
网址	https://doi.org/10.3938/jkps.53.2522
DOI	10.3938/jkps.53.2522 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Weijuan Song; Sung-Yeol Kwon; Guoqing Kang; J.H. Park; Kai Yang; et al 出版日期：2008-11-15
求助人	妙柏在 2025-11-14 10:10:54 发布自江西，悬赏 10 积分
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