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标题
[高分] A Design of Plasma Emission Intensity Ratio Control System for a Microwave Plasma CVD Process Using FRIT
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网址
https://doi.org/10.1541/ieejeiss.144.127
DOI
10.1541/ieejeiss.144.127 doi
其它 期刊：The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan.C
作者：Natsuki Kawaguchi; Kazuma Nakata; Ryota Ohnishi; Ippei Tanaka
出版日期：2024-02-29
求助人
难过梦竹 在 2025-10-08 20:07:13 发布自江苏，悬赏 150 积分
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