Exposure characteristics of ternary copolymerization positive tone electron beam resist containing p-chloro-α-methylstyrene - 科研通

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标题	Exposure characteristics of ternary copolymerization positive tone electron beam resist containing p-chloro-α-methylstyrene 含对氯-α-甲基苯乙烯的三元共聚正色调电子束抗蚀剂的曝光特性相关领域抵抗材料科学三元运算共聚物分析化学（期刊）溶解电子束光刻溶解度纳米技术复合材料化学聚合物有机化学图层（电子）计算机科学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1117/12.2324709
DOI	10.1117/12.2324709 doi
其它	期刊：作者：Kenta Tamaru; Shunsuke Ochiai; Yukiko Kishimura; Hironori Asada; Ryoichi Hoshino; et al 出版日期：2018-06-12
求助人	科研废柴在 2025-10-27 08:24:04 发布自广东，悬赏 20 积分
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