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The Design of a High Precision Capacitive Pressure Sensor Based on Comb Electrode 基于梳状电极的高精度电容式压力传感器的设计
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期刊: 作者:Xuejiao Li; Libo Zhao; Xiangguang Han; Ping Yang; Guoxi Luo; et al 出版日期:2019-12-01 |
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