The Design of a High Precision Capacitive Pressure Sensor Based on Comb Electrode

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标题	The Design of a High Precision Capacitive Pressure Sensor Based on Comb Electrode 基于梳状电极的高精度电容式压力传感器的设计相关领域电容感应微电子机械系统电极电容压力传感器振膜（声学）线性制作有限元法灵敏度（控制系统）压力测量光电子学材料科学声学电气工程电子工程工程类机械工程物理结构工程振动量子力学医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1109/piers-fall48861.2019.9021338
DOI	10.1109/piers-fall48861.2019.9021338 doi
其它	期刊：作者：Xuejiao Li; Libo Zhao; Xiangguang Han; Ping Yang; Guoxi Luo; et al 出版日期：2019-12-01
求助人	艾伦在 2025-09-09 18:15:04 发布自江苏，悬赏 10 积分
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