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  Enhancement of ferroelectricity in sputtered HZO thin films by catalytically generated atomic hydrogen treatment 相关领域
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Mohit Mohit; Yuli Wen; Yuki Hara; Shinji Migita; Hiroyuki Ota; et al 出版日期：2022-03-03 |
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