Roughness control in the processing of 2-inch polycrystalline diamond films on 4H-SiC wafers

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标题	Roughness control in the processing of 2-inch polycrystalline diamond films on 4H-SiC wafers
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108824
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108824 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Xiufei Hu; Ziang Wang; Yingnan Wang; Saibin Han; Xiaoyu Zhang; et al 出版日期：2024-12-01
求助人	kwi 在 2026-10-08 02:16:30 发布自福建，悬赏 10 积分
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